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Zum Prüfen der AHMDS-Schichtdicke kommt das Filmetrics LS-DT2 zum Einsatz, es ist leicht und schnell zu bedienen, für eine effiziente Reaktionszeit. Auch Kleinteile oder schwer zugängliche Stellen sind, durch die geringe Größe der Messoberfläche, messbar. Die Software wertet anhand eines Farbspektrums die Daten aus und generiert über deren Einpassungsfaktor den Näherungswert zum Normal. Anhand der Reflexion kann die Schichtdicke ermittelt werden, welche aufs Nanometer genau ausgegeben wird.